신뢰와 성실함으로 고객과 함께합니다

BUSINESS

자동화 시스템 설비 전문 기업

선진이노베이션

미래를 앞서가는 기술력으로 모두가 신뢰하는 기업

(주)선진이노베이션은 항상 고객의 입장에서 성실과 신뢰를 드릴 수 있는 성공적 파트너가 되겠습니다.


NO.1

1. LCD 용 HP/CP

설비 제조 공정

  Photo 공정 중 PR 도포 후에 Solvent를 제거하여 PR의 경도를 향상시키는 공정에 적용


핵심 개발 파트

  1) Mica Heater

  2) Lift pins & Approximate Pins

  3) Lift pins up/down unit

  4) Bake Chamber

  5) Bake frame

  6) Zone temperature control technology

TFT-LCD C/F(Color Filter) 공정도


2. RTP ( LCD – Curing system)

Rapid Temperature Process(RTP)

 반도체 및 LCD에서 Liquid process 후에 유기 고형 분의

 경도 강화를 위하여

 고온에서 Curing 설비로 사용이 되어지고 있는 설비

  

핵심 개발 파트

 1) High Temperature Process Chamber

 2) Lamp Array unit

 3) Gas Pipe Design

 4) Gas Valve Box

 5) Electronic Design

 6) OS ( Software for machine control)